典型光束稳定系统由2个位置敏感探测器PSD ，4个Nanmotor压电纳米位移促动器SNM01组成的2个电动镜架（用于科研级光束稳定系统）或2个快速压电直驱镜架SNM03电动镜架（用于工业级光束稳定系统） ，1个智能控制器SDRV01（科研级）或SDRV03（工业级） ，4个SQM25镜架（分光镜用） ，1个SLH25镜架（聚焦镜用）、若干SPH系列高稳定杆架和相关光学元件（客户自供）组成闭环，用来消除输入光束的漂移 ，保证输出光束指向和位置的稳定 。
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游艇会yth光电所开发的光束稳定系统具有独立自主知识产权 ，系统主要基于对激光束的两个位置点采样,实现空间上4个自由度的调节，通过位置探测器PSD反馈位置误差信号来控制Nanomotor,从而实现保持光束位置的恒定 。系统分为两类 ：科研级光束稳定系统（型号 ：S-LBS1000-R）和工业级光束稳定系统（型号S-LBS1000-I）），其中前者基于公司自主研发和生产的Nanomotor压电纳米位移促动器SNM01，后者基于公司自主研发和生产的快速直接压电驱动镜架SNM03，响应速度比科研级光束稳定系统所用的Nanomotor快10倍 。由于Nanomotor的体积小，分辨率高，失电位置保持的特性使得Nanomotor非常的适合于此类光学系统的调节，另外Nanotomotor还可以应用于真空 、紫外等应用环境 。目前，Nanomotor正被广泛用于控制激光的指向漂移，能够显著提升系统的准确性，其应用范围包括半导体晶圆在生产制造过程中的测量、曝光控制、光束跟随等 。同时也广泛应用在科研领域 ，如激光腔镜调节、晶体相位匹配 、晶体腔内移位 、偏振元件调节、薄膜测量系统 ，晶圆图案检测等 。
光束稳定系统（科研级）
光束稳定系统（科研级）软件控制界面
光束稳定系统（工业级）
光束稳定系统（工业级）软件控制界面
光束稳定系统的总体布局如图 ，在这个系统中，激光束经过两个反射镜M1和M2到达工作区域 ，每一个反射镜架装有两个实时调节位置的Nanomotor。同时 ，在光路中插入两个分光片 ，每一片分光片分别将少部分光反射到位置探测器PSD1和PSD2的光敏面上。理想状态下，PSD1所测光束应与M2反射镜上的光斑为物象关系 ，PSD1给出的信号用以控制M1反射镜 ，从而保证光斑在M2上的位置为恒定 。光斑位置固定以后 ，M2镜架用于调整激光光束指向 ，PSD2用于检测光束偏差后 ，驱动M2，确保光束输出位置居中 。两个PSD互为参照点 ，从而在空间中确定一条直线，即输出光束被稳定在一条直线上，实现光束指向和位置的恒定不变 。
