游艇会yth光电开发的Nanomotor系列压电纳米位移促动器，具有<30nm的分辨率，其小巧的体积和极低的重量使其在高精密定位中得到了广泛应用，比如半导体晶圆薄片的加工

、生物细胞探针的纳米探测以及激光束光路稳定等等


。这里，游艇会yth简要阐述其在半导体晶圆加工领域的应用
。

　　游艇会yth采用了Nanomotor系列中的3个SNM01产品
，其行程为13mm, 开环控制

，分别用来调节晶圆薄片加工平台的垂直高度Z和两个角度(俯仰
、偏摆)，通过与Nanomotor配套的4轴智能控制器一次性控制3个Nanomotor 产品的步进距离，从而实现对晶圆薄片的 定位和位置调节(如下图)
。而传统的伺服电机或步进电机则由于其较大的体积和重量使其无法应用到此类场合。